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    AHYR2110F_4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机器人

    AHYR2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

    产品描述

    4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机器人
    AHYR2110F_AHY系列半导体机器人
     
    • ● 高可靠真空隔离，从容应对高真空环境
    • ● 电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性
    • ● 高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度
    • ● 采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制

    臂长

    213.4mm

      额定/最大负载

     ≤1kg

    搬运物

    ≤Φ300mm晶圆

    南宫NG28众为兴AHYR4210F_4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机器人

    关键词：

    南宫NG28众为兴AHYR4210F_4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机器人

    规格参数

    南宫NG28众为兴AHYR2110F_4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机器人