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      DFA40_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人

      DFA40_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

      产品描述


      2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人
      DFA40_DFA系列半导体机器人
       
      • ●采用闭环伺服控制
      • ●可选配免电池绝对式编码器
      • ●可根据设备布局定制臂长

      臂长

      400mm

      额定/最大负载

      12kg

      搬运物

      4~12寸晶圆片盒

      南宫NG28众为兴DFA40D_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人

      关键词:

      DFA系列半导体机器人

      南宫NG28众为兴DFA40D_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人

      规格参数

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